Данные о продукции
| Высота сигнала | 4 µm |
| Выходной сигнал | 90° phase difference, differential square wave (RS-422A equivalent) |
| Доставленный | With Display Unit |
| Измерение силы | 0.65 N with spindle down, 0.55 N spindle horizontal, 0.45 N spindle upwards |
| Контактная точка | Ø 3 mm carbide ball,thread: M 2.5 x 0.45 |
| Макс. скорость отклика | 700 mm/s |
| Повторяемость | 0,1 µm |
| Разрешение | 0.01 µm |
| Стержень ? | 15 mm |
| Тип подшипника | High precision linear ball bearing |
| Точность | 0,2 µm |
| Условия окружающей среды | 0C to 40°C (20% to 80% rel. humidity, no condensation) °C |
| Шкала | Laser-hologram measurement sensor |