Данные о продукции
| Диапазон перемещения стола XY | 200 x 170 mm |
| Изображение наблюдения | Erect |
| Макс. высота заготовки | 220 mm |
| Макс. нагрузка на ступень | 20 kg |
| Масса | 148 kg |
| Плавающая функция | X and Y axes with Quick-release mechanism |
| Размер верхней части XY-платформы | 410 x 342 mm |
| Система измерения | X, Y and Z axis (3 axes) |
| Тип наблюдения | Bright/Dark Field (BF/DF) |
| Точность показаний (при 20°С) | XY-axis: (2,2+0,02L) µmZ-axis: (5+0,04L) µmL: Measuring length (mm) when not loaded, JIS B 7153 |
| Функция поворота (слева) | ±5° |
| Эффективный размер стекла | 270 x 240 mm |