Данные о продукции
| Диапазон перемещения стола XY | 200 x 170 mm |
| Изображение наблюдения | Erect |
| Макс. нагрузка на ступень | 20 kg |
| Плавающая функция | X and Y axes with Quick-release mechanism |
| Размер верхней части XY-платформы | 410 x 342 mm |
| Точность показаний (при 20°С) | XY-axis: (2.2+0.02L) µmZ-axis: (5+0.04L) µm L: Measuring length (mm) when not loaded, JIS B 7153 |
| Удаленная коробка | - Speed adjustment- Coarse/Fine Speed switching- Jog shuttle- Emergency stop switch- AF button- Counter reset button- Data output button- Power switch- Limit setting (Z-axis) Remote Box |
| Функция поворота (слева) | ±5° |
| Эффективный размер стекла | 270 x 240 mm |