Данные о продукции
| Диапазон перемещения по оси Z | 100 mm |
| Диапазон перемещения по осям X, Y | 200 x 170 mm |
| Оптическая системаглубина фокуса | High-resolution mode : ±0.6 mm; Normal mode : ±11 mm |
| Освещение | - Contour- Coaxial- 4-quadrant LED (RL) |
| ПЗС-камера | 3 Megapixels colour CCD camera |
| Повторяемость (±2 ?) в пределах экрана | QI-A models : ±1 μm (high-resolution mode) ±2 μm (normal mode) |
| Рабочее расстояние оптической системы | 90 mm |
| Размер сценического стекла | 260 x 230 [mm] |
| Режим измерения | High-resolution mode and Normal mode |
| Точность в пределах экрана (±2?) | Specifications when at focal position QI-A models : ±2 μm (high-resolution mode) ±4 μm (normal mode) |
| Увеличение оптической системы | QI-A models : 0.2X |
| Функции | QI-A models, 0.2x Magnification, Manual stage |