Данные о продукции
| 4-квадрантный PRL (1)освещение | White LED |
| Высокочувствительная ПЗС-камера | B&W CCD camera |
| Диапазон (оси X, Y, Z) с Vision Head | 1000 x 1000 x 150 mm |
| Дополнительные объективы | Refer to the Optical Accessories page for Quick Scope / Quick Vision |
| Заводской вариант | Tracking Auto Focus (TAF) |
| Коаксиальное освещение | White LED |
| Контурное освещение | White LED |
| Макс. скорость движения по осям X и Y | 400 mm/s |
| Размер сценического стекла | 1186 x 1186 [mm] |
| Разрешение | 0.1 µm |
| Система изменения увеличения | Programmable Power Turret (PPT)1X ; 2X ; 6X |
| Точность E1 | (1.5+3L/1000) μm |