Данные о продукции
| Диапазон перемещения по оси Z | 100 mm |
| Диапазон перемещения по осям X, Y | 100 x 100 mm |
| Оптическая системаглубина фокуса | High-resolution mode : ±0.6 mmNormal mode : ±11 mm (QI-B models : ±1.8 mm) |
| Освещение | - Contour- Coaxial- 4-quadrant LED (RL) |
| ПЗС-камера | 3Megapixels colour CCD camera |
| Повторяемость (±2 ?) в пределах экрана | QI-A models : ±1 μm (high-resolution mode)±2 μm (normal mode)QI-B models : ±0.7 μm (high-resolution mode)±1 μm (normal mode) |
| Рабочее расстояние оптической системы | 90 mm |
| Размер сценического стекла | 170 x 170 [mm] |
| Режим измерения | High-resolution mode and Normal mode |
| Точность в пределах экрана (±2?) | Specifications when at focal positionQI-A models : ±2 μm (high-resolution mode)±4 μm (normal mode)QI-B models : ±1.5 μm (high-resolution mode)±3 μm (normal mode) |
| Увеличение оптической системы | QI-A models : 0.2XQI-B models : 0.5X |
| Функции | QI-B models |